據(jù)中國臺灣經(jīng)濟(jì)日報(bào)，光刻機(jī)巨頭阿斯麥宣布擴(kuò)產(chǎn)EUV與DUV乃至于下世代EUV設(shè)備計(jì)劃。業(yè)界預(yù)計(jì)，從客戶應(yīng)用來看，晶圓代工需求最強(qiáng)，特別是先進(jìn)制程技術(shù)投資不易降低，將持續(xù)帶動阿斯麥長期增長明朗。阿斯麥說明，計(jì)劃將年產(chǎn)能增加到90臺EUV和600臺DUV系統(tǒng)(2025-2026年)，以及20臺High-NA EUV系統(tǒng)(2027-2028年)。
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