華懋科技：徐州博康目前擁有10余款KrF光刻膠，其中部分款已實現(xiàn)量產(chǎn) 2022-05-30 15:48 array(1) { [393131]=> array(2) { [2]=> array(2) { [0]=> string(6) "徐州" [1]=> string(12) "華懋科技" } [4]=> array(1) { [0]=> string(19) "同花順7x24快訊" } } } 同花順7x24快訊 0 華懋科技在互動平臺上表示，徐州博康目前擁有10余款KrF光刻膠，主要應(yīng)用在55-14nm節(jié)點，其中部分款已實現(xiàn)量產(chǎn)。徐州博康的KrF光刻膠產(chǎn)品主要分為高分辨率正膠、高分辨率負膠、金屬剝離負膠、厚膠四大類。高分辨正膠厚度可涵蓋0.15um-1.2um，極限分辨率可達到120nm，徐州博康目前在積極推動高分辨率產(chǎn)品在國內(nèi)主要晶圓廠客戶的驗證評估。
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