中信證券指出，在全球芯片缺貨和國產芯片份額爬升背景下，國內本土晶圓廠擴產持續，部分重點項目有望拉動2022~2023年設備領域資本開支的持續提升。同時，各國對半導體制造本地化加大政策補貼力度，全球半導體設備采購有望持續景氣。當前半導體設備交期普遍延長，部分交期長達1~2年，設備廠商在手訂單飽滿，在國產替代和國外供應鏈緊張的環境之下，建議關注國產半導體設備商加速發展機遇。