中微公司發布業績快報，2021年營業收入為31.08億元，同比增長36.72%；歸母凈利潤10.11億元，同比增長105.49%；基本每股收益1.76元。受益于半導體設備市場發展及公司產品競爭優勢，2021年刻蝕設備收入為20.04億元，較2020年增長約55.44%，毛利率達到44.31%。