晶瑞電材表示，公司高端KrF光刻膠已完成中試，建成了中試示范線，已進(jìn)入客戶測(cè)試階段。近期已購(gòu)得KrF光刻機(jī)一臺(tái)，可用于KrF光刻膠的曝光測(cè)試，同時(shí)公司KrF光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。目前ArF高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動(dòng)，已完成光刻機(jī)、勻膠顯影機(jī)、掃描電鏡、臺(tái)階儀等設(shè)備購(gòu)置，其中ASML1900Gi型光刻機(jī)設(shè)備正在積極調(diào)試中。同時(shí)公司正在積極開展對(duì)上游材料樹脂單體及配方的研究。