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中電科發布多項技術創新成果 為芯片制造企業提供一站式解決方案

  7月8日,在北京亦莊創新發布會上,中電科電子裝備集團有限公司發布了離子注入機、化學機械拋光設備、濕法設備等多項技術上的創新成果,為國內外芯片制造企業提供一站式解決方案。中電科電子裝備集團有限公司戰略計劃部主任李進介紹,電科裝備8英吋CMP設備市占率達70%,12英吋CMP進入客戶驗證,性能表現優異。電科裝備濕法設備已進入到8英吋集成電路外延片加工和芯片制造領域。(證券時報)

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